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談到「校正」的意義, 最常用的例子就是打靶。有個班兵拿著65K2打靶, 準星還沒調過, 六發子彈都打在隔壁的靶紙上﹗這種情形就(才)需要「校正」。因為「六發都打在同一範圍」, 表示再現性高(儀器是準的); 只要調一下準星, 校正一下, 就可以把六發都打在自己的靶紙上。至於六發都不知去向的(儀器很不準), 就不用校正了。

從打靶的例子來看, 儀器最重要的除了「本身的精度」, 另一個就是「校正功能」了。以超精密加工最常用的量測儀器來說, 要得到有效的結果, 避免各說各話, 以下三個因素都必須考慮校正:

1. 量測時的移動速度

2.探針補正(註1)

3.線性測試

同一品牌的儀器都需要經過校正, 才能得到客觀的量測數據, 不同的品牌的儀器就更不用說了。您的儀器能校正哪些項目呢?

註1: 有不少表面量測儀器, 在處理資料時, 都假設探針的R值/形狀是完美的球形–但是實務上, 探針形狀受到製造公差/使用磨耗等各種因素影響, 有必要進行校正。 如果您的儀器無法校正探針, 請立即和廠商聯絡! 或許您少買了一個軟體, 或是本來就有但一直沒用到。



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